《汉隶字源》为一部考释反隶之字书。每字皆以楷书构目，而以采自不同碑刻之隶书，钩摹后标以碑目、序号排比于楷书之下。一字若有数体，并列于后，不注音、不释义，间或作字形考辨，随字注明出处。前人评论此书曰：“其考赜甚精，其立说甚当，其沾丐后学甚笃”。“于古音、古字，亦多存梗概，皆足为考证之资，不但以点画波磔为书家模范已也。”